П.А. Чочиа

Сегментация изображений на основе прослеживания контуров применительно к анализу снимков электронных микросхем

Рассматривается алгоритм сегментации снимков микросхем, получаемых сканирующим электронным микроскопом. Изображения характеризуются высоким уровнем шума и наличием двух различных типов границ между наблюдаемыми объектами. Сегментация осуществляется прослеживанием контуров на границах между паттернами. Реализуется обнаружение границ первого типа, преобразование границ второго типа к первому и окончательное прослеживание контуров по объединенному синтезированному изображению. Обсуждается вопрос удаления ложных контурных линий и сегментов.